且隨著生產(chǎn)工藝參數(shù)變化而變化，為了提高薄膜橫向厚薄均勻度，須引進(jìn)自動(dòng)橫向厚薄控制系統(tǒng)，常用控制方法有自動(dòng)模頭(熱膨脹螺絲控制)和自動(dòng)風(fēng)環(huán)，這里主要介紹自動(dòng)風(fēng)環(huán)原理與應(yīng)用。

　　基本原理：

　　自動(dòng)風(fēng)環(huán)結(jié)構(gòu)上采用雙風(fēng)口方式，其中下風(fēng)口風(fēng)量保持恒定，上風(fēng)口圓周上分為若干個(gè)風(fēng)道，每個(gè)風(fēng)道由風(fēng)室、閥門、電機(jī)等組成，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門調(diào)整風(fēng)道開口度，控制每個(gè)風(fēng)道風(fēng)量大小。

　　控制過(guò)程中，由測(cè)厚探頭檢測(cè)到薄膜厚薄信號(hào)傳送到計(jì)算機(jī)，計(jì)算機(jī)把厚薄信號(hào)與當(dāng)前設(shè)定平均厚度進(jìn)行對(duì)比，根據(jù)厚薄偏差量以及曲線變化趨勢(shì)進(jìn)行運(yùn)算，控制電機(jī)驅(qū)動(dòng)閥門移動(dòng)，當(dāng)薄膜偏厚時(shí)，電機(jī)正向移動(dòng)，風(fēng)口關(guān)小;相反，電機(jī)反向移動(dòng)，風(fēng)口增大，通過(guò)改變風(fēng)環(huán)圓周上各點(diǎn)風(fēng)量大小，調(diào)整各點(diǎn)冷卻速度，使薄膜橫向厚薄偏差控制在目標(biāo)的范圍。